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秒速大大

铜虫 (小有名气)


[交流] PECVD生长二氧化硅气压不稳定

求助各位虫友,在用PECVD生长二氧化硅薄膜发现腔体气压不稳定,一直在升高。腔体反应气体为SiH4和N2O,流量为10:100 SCCM,腔体气压在反应前稳定在100 Pa,但是打开电源开始反应后,气压就一直在上升,这个一般是什么问题导致的?
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chenhuanlong

新虫 (文学泰斗)



秒速大大(金币+1): 谢谢参与
5楼2023-03-22 16:03:03
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379343274

木虫 (正式写手)



秒速大大(金币+1): 谢谢参与
看看蝶阀控压有没有问题,另外排查一下MFC 是否正常,还有泵的问题

发自小木虫IOS客户端
8楼2023-03-27 23:34:05
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那片香茗

新虫 (小有名气)



秒速大大(金币+1): 谢谢参与
把比例设成30:100试试。
10楼2024-04-29 17:37:16
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lvzhiqing7楼
2023-03-26 18:04   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
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tzynew2楼
2023-03-22 14:19   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
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XG-WUST9楼
2023-03-28 20:56   回复  
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up 发自小木虫IOS客户端
lds2029711楼
2024-05-05 07:26   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
!! 发自小木虫IOS客户端
lds2029712楼
2024-06-01 07:39   回复  
toppaper4楼
2023-03-22 15:08   回复  
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