| 查看: 512 | 回复: 10 | |||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 秒速大大 的 40 个金币 ，回帖就立即获得 1 个金币，每人有 1 次机会 | |||
[交流]
PECVD生长二氧化硅气压不稳定
|
|||
求助各位虫友，在用PECVD生长二氧化硅薄膜发现腔体气压不稳定，一直在升高。腔体反应气体为SiH4和N2O，流量为10：100 SCCM，腔体气压在反应前稳定在100 Pa，但是打开电源开始反应后，气压就一直在上升，这个一般是什么问题导致的？ |
回复此楼» 猜你喜欢
文章接受，可以不理编辑的发来的请求吗
已经有3人回复
-
广东省区域联合基金青年基金啥时候能查到评审意见
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
-
投稿后一直显示This article is in Pending for submission check
已经有3人回复
-
1
已经有1人回复
-
材料专硕344分求调剂
已经有1人回复
-
2024江西省省自然科学基金出结果了吗？
已经有24人回复
-
中国地质大学（北京)工程技术学院安老师组招收2024调剂生
已经有0人回复
-
多级氧化物（钨，铟）基纳米材料的合成及其气敏性能的研究方向
已经有5人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
定量药理学学术交流和分析工作
+5/910
-
替老弟发个帖--寻找有缘的她
+2/876
-
建工类考试交流群（一建、二建、造价、监理、咨询、勘察设计等）
+3/498
-
十年生死两茫茫
+1/95
-
西安“石油地质研究实验室”18791013812田老师
+1/88
-
威格科学手套箱，为你的研究试验注入灵魂
+1/86
-
中国地质大学（武汉）张运丰副教授团队招收博士后1-2名
+1/84
-
海南大学化学化工学院招收2024年博士
+1/79
-
坐标郑州及附近，诚征女友
+1/74
-
2024年万人计划青年拔尖人才有答辩通知了吗？
+1/73
-
90后男北京真诚征婚 (征到即删，长期有效)
+1/70
-
诚征女友非诚勿扰坐标郑州
+1/61
-
靠谱哥哥找对象啊
+1/28
-
2024 Fall-美国University of Louisville招聘全奖博士生
+1/20
-
寻求 项目 论文 合作
+2/12
-
中山七院诚聘博士后（组织微环境调控/类器官芯片方向）
+1/8
-
酚羟基怎么和双取代醇羟基反应
+1/2
-
关于电解液中溶剂化作用或者氢键相互作用对羧酸盐红外峰的偏移
+1/2
-
寻找博导
+1/2
-
24博士申请
+1/1
+5/910
5楼2023-03-22 16:03:03
8楼2023-03-27 23:34:05
10楼2024-04-29 17:37:16
简单回复
tzynew2楼
2023-03-22 14:19
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
o 发自小木虫Android客户端
2023-03-22 14:33
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
toppaper4楼
2023-03-22 15:08
回复
nono20096楼
2023-03-26 16:49
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
·
2023-03-26 18:04
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
赞 发自小木虫IOS客户端
XG-WUST9楼
2023-03-28 20:56
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
up 发自小木虫IOS客户端
lds2029711楼
2024-05-05 07:26
回复
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
！！ 发自小木虫IOS客户端
