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秒速大大

铜虫 (小有名气)


[交流] PECVD生长二氧化硅气压不稳定

求助各位虫友,在用PECVD生长二氧化硅薄膜发现腔体气压不稳定,一直在升高。腔体反应气体为SiH4和N2O,流量为10:100 SCCM,腔体气压在反应前稳定在100 Pa,但是打开电源开始反应后,气压就一直在上升,这个一般是什么问题导致的?
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379343274

木虫 (正式写手)



秒速大大(金币+1): 谢谢参与
看看蝶阀控压有没有问题,另外排查一下MFC 是否正常,还有泵的问题

发自小木虫IOS客户端
8楼2023-03-27 23:34:05
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