| 查看: 257 | 回复: 3 | |||
appleliu0506金虫 (小有名气)
|
[求助]
如何提高lift-off过程中电极的剥离速度和洁净度？已有1人参与
|
| 目前电极尺度在6微米，空白沟道1.5微米，这个尺度使用AZ胶光刻后，lift-off经常出现电极沉积不上去的问题。请教如何解决 |
回复此楼» 猜你喜欢
迷茫的毕业季
已经有3人回复
-
这样的课题组值得去吗
已经有5人回复
-
一般很空的审稿意见大家一般是怎么回复的
已经有6人回复
-
蹲一个6月7号江苏省青基公示
已经有25人回复
-
间接经费用于绩效支持比例人员等问题
已经有4人回复
-
席夫碱反应ph敏感 控制ph在多少呢？
已经有5人回复
-
难上的课安排给我，杂事安排给我。评优时我就没份儿了，即便我做得不比绝大多数人差
已经有11人回复
-
看到大家一直在说代表作NC，不明觉厉
已经有22人回复
-
前些天开会有个人见到人就搞关系，一查此人全是MDPI/Hindawi论文，鄙视!
已经有49人回复
-
副教授跳槽
已经有16人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
appleliu0506: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2024-03-27 11:16:45
感谢参与，应助指数 +1
appleliu0506: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2024-03-27 11:16:45
|
lift-off的过程影响因素比较多：基底，光刻尺度，膜层厚度，浸泡溶液，plasma清洗等都会受到影响。 个人的经验是，尺度在1微米左右的光刻图案，建议使用Ti/Au的比例在1：3，e-beam沉积速率都控制在0.5A/s，之后使用丙酮浸泡30 min，期间不要晃动和处理基片。可以考虑在显影之后使用plasma处理30s（100w的情况下）。 尺度较大的光刻图案可使用NMP/DMSO等快速lift-off的浸泡溶液。 个人浅见，欢迎讨论~ |
2楼2024-03-27 11:09:53
appleliu0506
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 571.9
- 散金: 204
- 红花: 6
- 帖子: 261
- 在线: 229.7小时
- 虫号: 985161
- 注册: 2010-03-29
- 专业: 电化学
3楼2024-03-27 11:16:33
4楼2024-03-27 11:26:51
85