| 查看: 218 | 回复: 3 | ||
appleliu0506金虫 (小有名气)
|
[求助]
如何提高lift-off过程中电极的剥离速度和洁净度？已有1人参与
|
| 目前电极尺度在6微米，空白沟道1.5微米，这个尺度使用AZ胶光刻后，lift-off经常出现电极沉积不上去的问题。请教如何解决 |
回复此楼» 猜你喜欢
河北省基金
已经有18人回复
-
蹲一个男朋友
已经有25人回复
-
换导师
已经有10人回复
-
海南大学田新龙教授课题组招24级博士生或科研助理 (氢燃料电池与器件，重点支持方向)
已经有4人回复
-
中文投稿
已经有7人回复
-
来用亲身体会，一起说说年轻老师的辛苦
已经有21人回复
-
求助在硝基苯上进行F-C反应甲基化的方案
已经有8人回复
-
博三一直没文章怎么办
已经有22人回复
-
推荐转投（ transfer pending）是否有用？
已经有3人回复
-
白天不懂夜的黑，90后青椒与60后老板
已经有4人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
appleliu0506: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2024-03-27 11:16:45
感谢参与，应助指数 +1
appleliu0506: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2024-03-27 11:16:45
|
lift-off的过程影响因素比较多：基底，光刻尺度，膜层厚度，浸泡溶液，plasma清洗等都会受到影响。 个人的经验是，尺度在1微米左右的光刻图案，建议使用Ti/Au的比例在1：3，e-beam沉积速率都控制在0.5A/s，之后使用丙酮浸泡30 min，期间不要晃动和处理基片。可以考虑在显影之后使用plasma处理30s（100w的情况下）。 尺度较大的光刻图案可使用NMP/DMSO等快速lift-off的浸泡溶液。 个人浅见，欢迎讨论~ |
2楼2024-03-27 11:09:53
appleliu0506
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 571.9
- 散金: 204
- 红花: 6
- 帖子: 261
- 在线: 229.7小时
- 虫号: 985161
- 注册: 2010-03-29
- 专业: 电化学
3楼2024-03-27 11:16:33
4楼2024-03-27 11:26:51
50