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AFAGM

新虫 (初入文坛)


[交流] 关于在PDMS上电子束光刻的问题

目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案
但在PDMS上甩了MMA,PMA和导电胶后,因为PDMS绝缘,即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦,曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。
导电胶厚度从300nm到1,2微米效果都很差。
有前辈有相关工作的经历吗?求指导
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tzynew2楼
2024-01-14 14:08   回复  
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k 发自小木虫Android客户端
xiejf3楼
2024-01-14 20:09   回复  
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2024-01-15 16:49   回复  
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