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一个镀了二氧化硅的铌酸锂晶圆，光刻的时候总是吸附到掩模板上，导致光刻胶被粘掉，无法光刻无法对准，3612的胶，烘烤时间75℃/20min，真空度正常，有哪位大佬指导一下，实在找不到问题所在了？ 发自小木虫Android客户端 |
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