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bhgolden
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[交流]
针对复杂薄膜沉积研究应用的信息已有2人参与
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1. 针对钯元素对氢气的敏感性，制备钯钇合金膜用作光纤氢气传感器；在光纤光栅锈蚀传感器的Fe-C薄与基体之间制备Ag导电薄层；利用不同元素或化合物对于各种信号的敏感性，进行传感器薄膜的制备； 2. 对于厚度均匀性可控，可进行压电测试；光学元件中的TSV 种子和 UBM/RDL 的金属层的沉积；对于各种功率器件和射频设备的化合物半导体材料沉积；用于厚铝沉积，以在晶圆上形成键垫，提高晶圆产量； 3. 涉及太阳能电池薄膜，利用钙钛矿型的有机金属卤化物半导体作为吸光材料，采用磁控溅射制备钙钛矿薄膜；储氢材料薄膜；需要磁控溅射进行多元薄膜的制备和多层薄膜的复合，并且对于薄膜厚度控制要求较高； 4. 专注于两种金属或者化合物之间界面的结构变化对于性能的影响规律，需要制备两层厚度只有几纳米或十几纳米的薄膜以进行原子尺度界面研究。 ——我们提供支持以上研究应用的进口高真空复杂沉积系统，有兴趣请联系我们13161519588，谢谢！ |
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