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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸发镀金工艺请教
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akatsukiU

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 电子束蒸发镀金工艺请教已有3人参与

请教一下各位镀膜大佬，现在用电子束蒸发镀金电极，镀完发现基片上的PMMA胶已经全部熔化，金完全剥离不下来，有什么方法解决吗？

相关参数：蒸发电流270mA，背底真空1*10^-4 Pa，蒸发真空度3*10^-3 Pa，速率1 A/s。（速率不高，但似乎蒸发电流有点大，可能造成基片温升过高，不知道这样解释正不正确）

非常感谢！@yswyx
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zht861128

» 猜你喜欢
1楼2021-05-12 16:24:07
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济南德尔塔

新虫 (小有名气)
磁控溅射镀可以吗

发自小木虫Android客户端
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2楼2021-05-12 22:49:44
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akatsukiU

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 济南德尔塔 at 2021-05-12 22:49:44
磁控溅射镀可以吗

目前只有电子束蒸发设备
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3楼2021-05-13 08:03:15
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烦躁的人生

新虫 (小有名气)
sty112: 屏蔽内容 2021-09-05 13:03:57
本帖内容被屏蔽
4楼2021-05-13 10:52:39
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akatsukiU

至尊木虫 (著名写手)
补充：
硅片上涂950k PMMA，EBL做了微结构然后镀Cr/Au电极。因为条件有限只能用电子束蒸发做，片子是粘在玻璃片上，然后固定在背板上（背板无水冷）。现在发现镀完后表面有不同程度的褶皱，尝试了从低速率0.1A/s到高速率3A/s的多种蒸发速率，低速率时褶皱不明显但片子温升较大，高速率时几乎无温升但褶皱明显，甚至有鼓泡、炸开的现象，最终无论速率高低，都剥离困难。电子束蒸发应该是很成熟的工艺，不知道我这是什么原因呢？有什么办法解决？

@yswyx大神不过老是被系统屏蔽也不知道为啥。。。
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5楼2021-05-14 22:02:09
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
估计是温度太高，碳化了
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6楼2021-05-15 07:41:52
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aaailsaaa

新虫 (小有名气)
可能是真空度不够

发自小木虫Android客户端
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7楼2021-06-19 13:42:38
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)
建议把片子贴在一个薄铜片上，再试一下。玻璃散热不行的。如果有改善的话，那确实就是温升导致PMMA变性了。

发自小木虫IOS客户端
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8楼2021-06-20 14:26:09
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烦躁的人生

新虫 (小有名气)
sty112: 屏蔽内容 2021-09-05 13:02:42
本帖内容被屏蔽
9楼2021-07-01 13:44:55
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辣条味的狗子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
1楼: Originally posted by akatsukiU at 2021-05-12 16:24:07
请教一下各位镀膜大佬，现在用电子束蒸发镀金电极，镀完发现基片上的PMMA胶已经全部熔化，金完全剥离不下来，有什么方法解决吗？

相关参数：蒸发电流270mA，背底真空1*10^-4 Pa，蒸发真空度3*10^-3 Pa，速率1 A/ ...

我发现我和你做的一毛一样

发自小木虫IOS客户端
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10楼2021-09-05 09:44:59
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